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濺射工藝

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 濺射工藝
產(chǎn)品型號: CGM2-102
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品品牌: ULVAC
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

濺射工藝  的詳細(xì)介紹

ULVAC 濺射工藝 CGM2-102

特點(diǎn)
適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
Air Leak監(jiān)控
殘留水分管理
無需差動排氣系統(tǒng)(less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar)
內(nèi)置顯示屏:無需PC可單獨(dú)操作使用
可進(jìn)行高靈敏度泄漏測試(CGM2-102)
可進(jìn)行全壓測定
操作簡單-One Click功能
標(biāo)配Qulee QCS軟件
支持CE標(biāo)準(zhǔn)
用途
適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
用于濺射設(shè)備的泄漏測試。
規(guī)格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型號 CGM-051 CGM2-101 CGM-052 CGM2-102
質(zhì)量分離方式 四極型質(zhì)量分析儀
質(zhì)量數(shù)范圍 1~50 amu 1~100 amu 1~50 amu 1~100 amu
檢出器 法拉第杯 二級電子倍增管/法拉第杯
感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
*小檢知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa
*大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
線性 1Pa
全壓力測量功能
Degas function Electron bombard type 300V, 5mA
一鍵檢漏功能 有 / He / H2O / N/ O/ Any gas
電源電壓 DC24V±10% 50W
*大烘烤可能溫度
(傳感器單元連接時)
120℃
*大烘烤可能溫度
(傳感器單元移除時)
250℃
使用溫度范圍 10~40℃
接口 Ethernet
軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)適用
符合標(biāo)準(zhǔn) CE
產(chǎn)品留言
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